應用範圍：
本設備主要用於藍寶石襯底、藍寶石外延片、矽片、陶瓷片、石英晶體、碳化矽、鍺片以及其他半導體材料的單麵精密研磨。
設備原理及特點：
1、本設備為單麵精密研磨設備,采用先進的機械結構和多種先進控製方法,研磨加工效率高，運行穩定。
2、整機采用PLC+觸摸屏控製係統,設備參數設置和操作簡單方便,係統運行穩定性高。
3、主電機采用變頻調速控製,實現主機軟啟動、軟停機，降低設備運行衝擊,減少工件損傷。
4、工件研磨壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控製實現壓力的閉環控製,保證極高的施壓精度與穩定性。
5、上壓盤采用主動驅動方式,在確保產品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統一性。
6、研磨盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能,在保證研磨液發揮最大效率的同時減少研磨盤麵的變形。
7、設備自帶盤麵修整機,盤麵修整後可保證0.01mm的盤麵平整度。
+8613622378685
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微信掃一掃主要技術參數：
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型號 |
FD-7104XA |
FD-8104XA |
FD-9104XA |
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磨盤規格 |
700x250x12mm |
810x255x12mm |
910x250x12mm |
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陶瓷盤直徑 |
240~260mm |
305mm |
360mm |
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主電機功率 |
5.5KW/380V |
7.5KW/380V |
7.5KW/380V |
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壓盤電機功率 |
0.4KW/380Vx4 |
0.4KW/380Vx4 |
0.4KW/380Vx4 |
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修整電機功率 |
0.2KW/380V |
0.2KW/380V |
0.2KW/380V |
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主電機轉速 |
10-100rpm(max) |
5-90rpm(max) |
5-90rpm(max) |
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設備工位數 |
4個 |
4個 |
4個 |
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修盤方式 |
自動修盤機 |
自動修盤機 |
自動修盤機 |
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設備規格 |
1050x1950x2300mm |
1200x2200x2500mm |
1200x1800x2300mm |
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設備重量 |
2100KG |
2350KG |
2500KG |
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